晶圓傳輸機械臂對齒形惰輪的選擇要求極高，需兼顧傳動平穩性、無塵潔凈、抗靜電、低回轉阻力與長壽命特性。根據使用環境和負載結構，應選用高精度、輕量化、耐腐蝕材料的齒形惰輪，并合理配置軸承與表面處理，以保障晶圓搬運的穩定、安全和無污染運行。
一、明確應用環境與負載特性
晶圓傳輸機械臂常用于半導體無塵車間，其齒形惰輪主要配合同步帶完成精密的轉動導向。首先需根據傳輸路徑、臂長與晶圓尺寸，明確所需齒形惰輪的齒型(如HTD、GT系列等)與節距，以匹配同步帶齒距及運動節奏。其負載普遍較輕，但精度要求高，因此要求惰輪具有極小的徑向跳動和高幾何對稱性，以保證晶圓定位穩定性。
二、優選輕質與無塵材料結構
惰輪材質應優先選擇高強度輕質材料，如POM、PEEK工程塑料或陽極氧化鋁，以減輕負載、降低驅動慣性。此外，為避免顆粒釋放污染，需采用無潤滑干運行結構，或配置密封軸承防止潤滑脂溢出。齒面處理上應具備良好的耐磨性與抗靜電性能，避免因摩擦積聚靜電而引發晶圓損傷或吸附微塵。部分高等級應用甚至需選用陶瓷或不銹鋼惰輪，提升潔凈與耐蝕能力。
三、匹配軸承結構與安裝方式
惰輪軸承配置必須滿足低摩擦、低噪音、高剛性特性，推薦使用精密深溝球軸承或帶法蘭高密封軸承。在安裝結構上，應確保惰輪與同步帶中心線高度一致，防止帶體跳動引發擺動誤差。同時，采用偏心結構調節張力機構可提升傳動精度與維護便利性。高端晶圓搬運系統常采用雙支撐結構提升惰輪剛性，進一步減少機械臂回轉誤差。
總結：
晶圓傳輸機械臂對齒形惰輪的選型不僅僅是尺寸和傳動功能的匹配，更是潔凈、精度、壽命與系統協同性能的系統優化過程。合理選擇高精度、輕量化、耐磨損的惰輪結構，將顯著提升晶圓搬運的效率與安全性，同時降低系統運行噪音與維護頻率，是高端半導體設備設計中不可忽視的重要一環。本文內容是上隆自動化零件商城對“齒形惰輪”產品知識基礎介紹的整理介紹，希望幫助各行業用戶加深對產品的了解，更好地選擇符合企業需求的優質產品，解決產品選型中遇到的困擾，如有其他的疑問也可免費咨詢上隆自動化零件商城。
